Verständnins der Definition und Klassifikation von Sensoren, Fokus mechanische Sensoren
Rolle im Material-integrierten Sensorsystem erkennen
Fähigkeit zur Abgrenzung: Material- vs. Struktureffekte
Sensormaterialien und direkt materialbasierte Sensoren
Mikrosystemtechnische Sensoren (Struktureffekte)
Anwendung von Optische Sensoren
Definition Sensor
Was ist ein Sensor? [D]
Ein Sensor ist eine Einheit, die ein Signal oder einen Stimulus empfängt und darauf reagiert.
“Natürlicher Sensor”
Der Sensor besteht aus zwei Teilen: (1) Füllstandanzeige (2) Menschliches Auge, das ein Signal an das Gehirn sendet.
[D]
Ein physikalischer Sensor ist eine Einheit, die ein Signal oder einen Stimulus empfängt und darauf mit einem elektrischen Signal reagiert.
Definition Sensor
Elemente, die eine im Allgemeinen nichtelektrische Messgröße in ein elektrisches Ausgangssignal umwandeln, heißen Sensoren. Dabei kann eine aktive nachgeschaltete analoge und digitale Sensorsignalverabeitung erfolgen.
[Weinrich, Grundlagen und Messprinzipien der Sensorik, Universität Hamburg]
Definition Sensor
Veränderung und Unschärfe des Sensorbegriffs: Im ursprünglichen Sinne ist der Sensor nur der Meßfühler/Aufnehmer, heute oft alles, was im Gehäuse der “Sensoreinheit” mit verpackt ist.
Stimulus
Ein Stimulus ist eine Größe, Eigenschaft oder Beschaffenheit, die wahrgenommen und in ein elektrisches Signal umgewandelt wird.
Ein- und Ausgangssignal
Eingangssignal
Ein Sensor wandelt ein (generell) nicht-elektrisches Signal in ein elektrisches um.
Ausgangssignal
Das Ausgangssignal kann eine Spannung, ein Strom oder eine Ladung sein.
Messgrößen
Es kann weiter unterscheidbar sein durch Amplitude, Frequenz oder Phase.
Definition Sensor
Sensorelement
Ein Sensorelement (einfacher Sensor) oder Messfühler wandelt die Messgröße in eine primäre elektrische Größe um.
Definition Sensor
Integrierter Sensor
Ein integrierter Sensor setzt die Messgröße in ein standardisiertes Signal um.
Definition Sensor
Intelligenter Sensor
Ein intelligenter Sensor ist ein integrierter Sensor mit rechner- gesteuerter Auswertung und digitalisierter Ausgabe.
Definition Sensor
Sensormodell
Der Sensor als “Black Box”
Fasst man den Sensor als “Black Box” auf, kann er unabhängig von Prinzip und Aufbau u. a. über folgende Merkmale beschrieben werden:
Transferfunktion
Messbereichsumfang
Ausgabebereich
Genauigkeit
Kalibrierungsfehler
Hysterese
Sättigung
Wiederholgenauigkeit
Verlässlichkeit
dynamische Eigenschaften
Sensormetrik
Metrikklassen
Einteilung nach
Art der Messgröße/des Stimulus
Art der Erfassung der Messgröße/Messprinzip
Art der Umwandlung von der Messgröße zum Ausgangssignal
optische Sensoren (z. B. Lichtintensität, weitere Wandlung erf.)
etc.
Sensormetrik
Sensortypen
Ein System kann verschiedene Sensortypen beinhalten:
Extrinsisch
Ermitteln von Informationen über die Systemumgebung
Intrinsisch
Ermitteln von Informationen über den internen Systemzustand
Aktive Sensoren
Erzeugen aufgrund des Messprinzips ein elektrisches Signal (z.B. Thermoelement, Lichtsensor), d.h. variieren elektrisches Signal bei Veränderung des Stimulus
Passive Sensoren
Enthalten passive Bauteile, deren Parameter durch die Messgröße verändert werden, d.h. bei Veränderung des Stimulus (z.B. resistive Thermometer oder Dehnungsmessstreifen)
Sensormetrik
Messverfahren
Die Differenzierung nach aktiven und passiven Sensoren kann nach dem Energiebedarf der Sensoren erfolgen:
Passive Sensoren modulieren ein Signal unter dem Einfluss der Messgröße und benötigen daher Hilfsenergie.
Aktive Sensoren erzeugen aufgrund des Messprinzips direkt ein elektrisches Signal.
Aktive Sensoren können häufig in Umkehrung des Messeffektes auch als Aktoren genutzt werden. Sie liefern dafür häufig lediglich bei einer Änderung der Messgröße ein Signal (Ausnahme u. a. Thermoelem.).
Teilweise wird die Perspektive auch umgekehrt - Sensorelemente, die keine Energiezufuhr benötigen, werden dann als “passiv” bezeichnet.
Sensormetrik
Sensormodell
Eigenschaften von Sensoren
Ein Eingangssignal muss eventuell mehrmals konvertiert werden, bis der Sensor ein elektrisches Ausgangssignal ausgibt.
Im folgenden Abschnitt wird der Sensor als ’Black Box’ betrachtet.
Es interessiert uns im Folgenden nur die Beziehung zwischen Eingangs- und Ausgangssignal.
Transferfunktion
Jeder Sensor besitzt eine ideale bzw. theoretische Beziehung zwischen Eingangs- und Ausgangssignal.
Das Ausgangssignal S repräsentiert dabei den wahren Wert des Eingangssignals s.
Die ideale Beziehung zwischen Eingangs- und Ausgangssignal eines Sensors wird beschrieben durch die Transferfunktion S = f(s).
Sensormodell
Transferfunktion
Lineare Transferfunktion:
Logarithmische Transferfunktion:
Exponentiale Transferfunktion:
beliebige Polynome höherer Ordnung:
mit
k ist eine Konstante
a ist das Ausgangssignal bei einem Eingangssignal von 0
b ist die Steigung
b wird in diesem Zusammenhang oft als Sensitivität bezeichnet.
Sensormodell
Sensitivität
Für nicht-lineare Transferfunktionen ist die Sensitivität für jeden Eingangswert si wie folgt definiert:
Approximation einer Transferfunktion
Einige nicht-lineare Transferfunktionen sind linear in einem eingeschränkten Bereich.
Nicht-lineare Transferfunktionen können durch mehrere lineare Funktionen approximiert werden.
Die Differenz zwischen wahrem und linear approximiertem Ausgangssignal sollte unter einem zu spezifizierenden Limit liegen.
Sensormodell
Mehrdimensionale Transferfunktionen
Die Transferfunktion kann von mehr als einem Stimulus abhängen.
Sensitivität in Bezug auf die Temperatur des gemessenen Objektes:
Sensormodell
Messbereichsumfang
Der dynamische Bereich eines Stimulus, der von einem Sensor erfasst wird, wird Messbereichsumfang (engl. Span oder Full Scale Input) genannt.
beziffert den kleinsten und höchsten für einen Sensor zulässigen Stimuluswert
größere Stimuli können den Sensor beschädigen
kleiner oder größere Stimuli können zu einer Sättigung des Ausgangssignals führen
Ausgabebereich
Der Ausgabebereich (endl. Full Scale Output) eines Sensors ist das Intervall zwischen dem Ausgangssignal bei kleinstem und größtem angelegten Stimulus.
Sensormodell
Reale Transferfunktion
Im Vergleich zur idealen Transferfunktion sind reale Sensoren immer ungenau.
Die Transferfunktion eines realen Sensors heißt daher: reale Transferfunktion.
Sensormodell
Kalibration
Kalibration ist eine Korrektur der Transferfunktion (Anpassung der Parametrisierung)
Kalibration soll die reale Transferfunktion der idealen Transferfunktion anpassen
Sensormodell
Hysterese
Hysterese beschreibt ein zeit- und historienabhängiges Verhalten der Transferfunktion.
D.h. der Stimulus wird erst in eine Richtung verändert (vergrößert) und dann wieder in die andere Richtung auf den ursprünglichen Wert geändert (verkleinert) . Dabei ist das Ausgangssignal des Sensors aber nicht mehr gleich.
Sensormodell
Sättigung
Fast jeder Sensor hat Arbeitsbereichsgrenzen.
Viele Sensoren haben eine lineare Transferfunktion, . . .
aber: Ab einem bestimmten Stimuluswert wird nicht mehr die gewünschten Ausgabe erzeugt.
Es tritt eine Sättigung der realen Transferfunktion ein.
Sensormodell
Antwortverhalten
→ Zeitliches Verhalten
Es kann eine verzögerte Stimulusantwort auftreten
Es kann zeitliches Über- und Unterschwingen auftreten
Es kann Oszillation auftreten
Sensormodell
Umwelteinflüsse
minimal und maximal zulässige Umgebungstemperatur
minimal und maximal zulässige Luftfeuchtigkeit
Kurz- und Langzeitstabilität (Drift) (Hilfe bei Langzeitdrift: Pre-aging erhöht Stabilität)
statische und dynamische Änderungen von elektromagnetischen Feldern, Gravitationskräften, Vibrationen, Strahlung , etc.
Selbsterwärmung z.B. durch Stromfluss
Mechanischer Stress im Material durch Integration!
Energieversorgung
SHM: Materialintegrierte Dehnungssensoren
Fibre-Bragg-Gratings (FBG)
FBGs können in Materialien eingebettet werden (Verbindung)
Es tritt eine Gitterkon.- und Wellenlängenänderung im reflektierten Spektrum aufgrund einer mechanischen Dehnung der Faser auf
SHM: Materialintegrierte Dehnungssensoren
Es können mehrere Sensoren örtlich getrennt in Materialien und Strukturen verlegt werden
Die Signale können einzelnen über einen Multiplexer ausgewertet werden oder man verwendet verschiedene FBG die sich in der Gitterkonstanten unterscheiden
Eine Lichtfaser kann dabei zudem aus mehereren hintereinander angeordneten FBG bestehen die ebenfalls unterschiedliche Gitterkonstanten und somit Inteferenzfrequenzen besitzen → quasi-gleichzeitge Auswertung mehrerer Frequenzen
Multiplexing und Multifrequenzfasern [E]
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SHM: Materialintegrierte Dehnungssensoren
Die relative Wellenlängenänderung δλ eines FBG durch axiale Dehnung ε ist gegeben durch:
Dabei gibt ebenso eine Temperaturabhängigkeit T die rechnerisch kompensiert werden muss → Sensorfusion
Piezoresistivität
Piezoresistivität ist die durch Dehnung verursachte Änderung des elektrischen Widerstands
Beispiel: Dehnungsmessstreifen
Piezoresistivität
Dabei gibt es verschiedene Beiträge (Terme) zu relativen Widerstandsänderung durch:
Änderung des spezifischen WIderstandes
Änderung der Länge
Änderung des Querschnitts (Fläche)
Piezoresistivität
Metallische Dehnungsmessstreifen (DMS)
Widerstandsänderung dominiert durch Geometrieänderung.
gute Linearität in einem weiten Temperaturbereich (-50 … 200°C, Pt-DMS bis ca. 1000°C)
S-T-C: Self-temperature-compensated, d. h. Auswahl des DMS-Materials für einen best. Werkstoff des Messobjektes
zur Kompensation unterschiedlicher Wärmeausdehnungskoeffizienten durch Temperaturabhängigkeit von ρ
Piezoresistivität
Halbleiter-DMS
Widerstandsänderung dominiert durch Änderung des spezifischen Widerstandes ρ: Änderung der Besetzungswahrscheinlichkeit/dichte von Valenz- und Leitungsbändern und der Ladungsträgerbeweglichkeit durch mechanische Spannung,
zusätzliche Abhängigkeit der Änderung von ρ von der kristallographischen Orientierung (u. a. bei Si).
höhere Temperaturempfindlichkeit als bei vielen Metall-DMS
relativ geringe Dehnungen (ca. 0,1 %) zulässig
hohe Empfindlichkeit (k-Faktoren: Si B-dot./p 80…190, Si P-dot./n -25…-100)
Piezoelektrizität
Piezoelektrizität bedeutet dass bei einer Dehnung bzw. Verformung ein elektrisches Feld an der Oberfläche aufgebaut wird
Der Begriff Piezoelektrizität beschreibt die Ausbildung eines elektrischen Feldes in einem Material durch mechanische Belastung. Der Effekt ist umkehrbar, d.h. aus einem äußeren elektrischen Feld folgt eine mechanische Dehnung des Materials. Basis ist der Aufbau des Materials aus Ionen oder polaren Molekülen und die Kristallstruktur, die nicht zentrosymmetrisch sein darf.
Klassisches Materialbeispiel ist Bariumtitanat BaTiO3. In der Elementarzelle kann das Ti4+-Ion eine von 6 verschiedenen Positionen minimaler Energie annehmen, die alle
nicht zentrisch sind und damit zu einem Dipol-Charakter der Elementarzelle führen.
Piezoelektrizität
Oberhalb der Curie-Temperatur sind die Dipolmomente der einzelnen Elementarzellen zufällig verteilt.
Unterhalb der Curie-Temperatur (BaTiO3 ca. 380 K) treten die Dipole in Wechselwirkung, richten sich aneinander aus und nehmen dabei bevorzugte Orientierungen ein:
Damit kommt es zur Ausbildung von Domänen im Kristall, die aber noch zufällig verteilt sind und sich bezogen auf den Gesamtkristall ausgleichen.
Wird das Material einem äußeren elektrischen Feld ausgesetzt, wachsen die Domänen, deren Dipole parallel zum Feld ausgerichtet sind, auf Kosten der anderen: Das Material wird polarisiert.
Piezoelektrizität
Wird ein derart polarisiertes piezoelektrisches Material einer mechanischen Belastung ausgesetzt, verändert sich die azentrische Lage der Ionen in den Elementarzellen
Wenn diese in Folge einer vorherigen Polarisierung parallel gerichtet sind, geschieht dies in allen Elementarzellen in gleicher Richtung und damit verstärkt.
Dies führt zu einem messbaren elektrischen Spannungsausschlag, dessen Höhe von der der mechanischen Belastung abhängt.
Ferroika
Ferroika sind Materialien, die unterhalb der sog. Curie-Temperatur spontane Ordnungszustände mit langer Reichweite zeigen (Ausbildung einer Domänenstruktur).
Die Bereichsgrenzen/Domänenwände sind dabei durch äußere Einflüsse veränderbar.
Ausrichtung der magnetischen Momente, u. a. Fe, Ni, Co.
Ferroelektrizität (elektr. Feld)
Ausrichtung elektrischer Dipolmomente, u. a. piezoelektrische Materialien wie BaTiO3, PZT.
Ferroelastizität (mech. Spannung)
Übereinstimmende kristallographische Orientierung in durch Zwillingsgrenzen begrenzten Domänen, makroskopische Dehnung als Folge einer Gleichrichtung über den gesamten Kristall, mechanisch induzierte martensitische Phasenumwandlungen, z. B. in Formgedächtnislegierungen.
Piezoelektrizität vs. Ferroelektrizität
Piezoelektrizität benennt die Verknüpfung zwischen elektrischem Feld und mechanischer Dehnung. Besondere Piezoelektrika sind Pyroelektrika, die bei Temperaturänderung Ladungstrennung zeigen.
Technisch für Aktor-/Sensoranwendungen interessante Piezoelektrika sind gewöhnlich Ferroelektrika, eine Untergruppe der Pyroelektrika, die als einzige die parallele Ausrichtung der Domänen mittels eines elektrischen Feldes erlaubt.
Grundsätzlich ist der Zustand eines Kristalls in Bezug auf seine thermischen, elastischen und
elektrischen Eigenschaften durch die Angabe je einer (entsprechenden) Zustandsgröße bestimmt [F]:
Die thermische Zustandsgröße ist ein Skalar, die
elektrische Größe ein Vektor [3 Vektorkoordinaten], die
elastische Größe ein symmetrischer Tensor zweiter Stufe (6 Tensorkoordinaten, d.h. 10 unabhängige Vari- ablen zur vollst. Beschreibung).
Heckmann-Diagramm
Darstellung linearer Beziehungen (über Materialkonstanten) zwischen
mechanischen,
elektrischen und
thermischen Zustandsgrößen in dielektrischen Materialien.
Äußeres Dreieck, Ecken: Intensive, d. h. materialmengenunabhängige Zustandsgrößen.
Inneres Dreieck, Ecken: Extensive, d. h. materialmengenabhängige Zustandsgrößen.
Wandler- und verknüpfte Effekte
Markierte Verbindungen: Thermische, dielektrische und elastische Haupteffekte.
Wandler- und verknüpfte Effekte
Linearisiertes Heckmann-Diagramm
Wandler- und verknüpfte Effekte
Piezoelektrischer Effekt im Heckmann-Diagramm
Wandler- und verknüpfte Effekte
Magnetische Effekte im Heckmann-Diagramm
Wandler- und verknüpfte Effekte
Eigenschaftsverknüpfungen
Verknüpfung in der Form: Response = f(Input).
Wandler- und verknüpfte Effekte
Transportphänomene
Thermoelektrizität
Seebeck-Effekt
Spannungsabfall in einem Stromkreis aus zwei unterschiedlichen elektrischen Leitern bei Vorliegen einer Temperaturdifferenz zwischen den Kontaktstellen.
Umkehrbarer Effekt, nutzbar zur Energiegewinnung aus Temperaturdifferenzen oder zur aktiven Kühlung (Peltier-Elem.)
Wirkungsgrade werden ausgedrückt durch Gütefaktor ZT, derzeit noch beschränkt.
Höhe des Spannungsabfalls U ist abhängig von Temperaturdifferenz T2-T1 und Seebeck-Koeffizient S
Der thermoelektrischer Gütefaktor ZT als Ausdruck für den Wirkungsgrad ist abhängig vom der mittleren Arbeitstemperatur T, der elektischen leitfähigkeit σ, und der Wärmeleitfähigkeit λ:
Effiziente thermoelektrische Materialien erfordern hohe elektrische und geringe thermische Leitfähigkeit – scheinbarer Widerspruch zu Wiedemann-Franz-Gesetz.
Konstituiert einen linearen Zusammenhang zwischen elektrischer und thermischer Leitfähigkeit;
Allerdings nur für den elektronischen Anteil;
Der phononische Anteil kann unabhängig von der elektrischen Leitfähigkeit beeinflusst werden.
Material- vs. Struktureffekte
“Binäre Sensoren”: Reißdraht
Reißdrähte sind die einfachste Form einer Schadenssensorik im Bereich Strukturüberwachung:
Es handelt sich um elektrische Leiter, die an kritischen Bereichen einer mechanisch belasteten Struktur angebracht sind und die bei Auftreten eines Schadens (Rissinitiierung, Überdehnung o. ä.) reißen.
Damit wird die elektrische Verbindung getrennt, der Sensor liefert mithin eine binäre Information, je nach Auslegung z.B. hinsichtlich Überschreitung einer Belastungsgrenze.
Material- vs. Struktureffekte
Comparative Vaccuum Monitoring
Der Sensor wird in der Regel auf eine Strukturoberfläche aufgebracht, die im rissgefährdeten Bereich liegt.
Ein Riss, der z.B. durch Vakuum- und Referenzdruck-Galerien verläuft, führt dazu, dass in den ersteren kein Vakuum mehr gehalten wird.
Material- vs. Struktureffekte
Drucksensoren
Drucksensorik mit einem Sensoreffekt als Struktureigenschaft (MEMS)
Prinzipiell materialunabhängige Eigenschaften einer Struktur:
kapazitiver Drucksensor
Intrinsische Materialeigenschaft des Sensormaterials:
klassischer piezoresistiver Effekt, z. B. in Halbleiterwerkstoffen
piezoelektrischer Effekt
Material- vs. Struktureffekte
Drucksensorik: Sensoreffekt durch Strukturierung
Verbundwerkstoffe als Sensormaterialien und Verbundstruktur als Basis von Sensoreffekten (Perkolation)
Material- vs. Struktureffekte
Verbundwerkstoffe als Sensormaterialien und Verbundstruktur zur Anpassung sekundärer Eigenschaften an Messaufgabe und -umgebung
Beispiel piezoelektrische Polymermatrix-Verbunde;
Erhöhte Duktilität gegenüber Keramik;
Höhere Temperaturstabilität, Feuchteresistenz und Steifigkeit gegenüber Polymeren.
[Zwaag et al., 2010]
Optische Sensoren
Prinzip: Nutzung einer Beeinflussung des Lichts
Voraussetzung: Kontrolle über den Weg des Lichts.
Phäomene u. a.:
Brechung: Richtungsänderung an Grenzflächen
Reflexion: Spiegelung an Grenzflächen
Beugung: Interferenzeffekte
[Wikipedia]
Optische Sensoren
Nutzung einer Beeinflussung des Lichts als Sensor:
Intensität
Farbe (Wellenlänge λ)
Polarisation (Schwingungsrichtung)
[Wikipedia]
Optische Sensoren
Lichtwellenleiter
Häugigster mechano-optischer Sensor ist der Lichtwellenleiter (Glasfaser)
Ein Lichtwellenleiters besteht aus unterschiedlichen Bereichen:
Mantel und
Kern, mit jeweils unterschiedlichen optischen Eigenschaften (Brechungsidnex)
Optische Sensoren
Intensitätsbasierte Sensoren
Abstände von LWL können durch Intensitätsänderung detektiert werden
Optische Sensoren
Phasenmodulierte Sensoren
Basieren auf Interferenzeigenschaften des Lichtes → Interferometer
Interferrenz ist eine ortsaufgelöste Eigenschaft → mechanischer Sensor
[E]
Optische Sensoren
[E]
Optische Sensoren
Wellenlängenbasierte Sensoren
Fasergitter (FBG)
Die Gitter können mittels Laserstrukturiering in die Faser eingebschrieben werden
Das Gitter ist i.A. auf einen kleinen Abschnitt zwecks Lokalisierung der Dehnung begrenzt
Es können eine Vielzahl von Gitter entlang der Faser in Reihe angeordnet werden, die sich durch ihre Gitterkonstante und somit die Resonanzfrequenzen unterscheiden → Multispektrale Messung an mehreren Orten gleichzeitg